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澳门威尼斯人网址牵头承担的国家重点研发计划项目“微电子加工用高端超纯化学品”顺利通过科技部中期检查

近日,澳门星际网站:科技部高技术中心“重点基础材料技术提升与产业化”重点专项管理办公室在江苏省组织了国家重点研发计划项目“微电子加工用高端超纯化学品”项目中期检查。该项目由澳门威尼斯人网址化工大学承担,澳门威尼斯人网址聂俊教授担任项目负责人。高技术中心卞曙光副主任、材料处蒋志君副处长,江苏省科技厅高新处罗阳副处长,专项总体组专家中科院长春应化所周光远研究员、吉林大学张海博教授,同行专家东华大学胡祖明教授、江南大学刘晓亚教授,管理专家中国石油和化学工业联合会王翊民教授级高工,财务专家王秀英注册会计师和邓敏高级会计师。项目负责人聂俊教授、澳门威尼斯人网址化工大学科研院项目主管周秀珍副研究员、各课题负责人以及项目参与单位代表约40人参加。

8月8日,科技部高技术中心领导和技术专家对位于江苏省宜兴市的江苏博研电子科技有限公司进行了考察,听取了公司董事长宗健的介绍,并现场考察了光阻胶产业示范线现场。8月9日,在常州举行了会议检查,听取了项目负责人聂俊教授的中期执行情况汇报,审阅了相关支撑证明材料。经充分讨论与质询,专家组一致认为,该项目各项研究工作达到了预期目标和考核指标,工作进展超额完成了中期研究任务。

微电子加工用化学品是国民经济和国防工业的重要战略性基础材料,具有重要的社会和经济意义。我国微电子行业规模全球领先,所需要的高端超纯化学品用量巨大,但是主要依赖进口,对外依存度超过90%,这严重限制了我国微电子行业的发展和国家安全。该项目针对微电子加工用高端超纯化学品的设计、纯化及产业化应用进行了全链条部署,取得了重要进展。本项目研究了微电子化学品构效关系的调控机制和高纯化技术,成功制备五种高纯高感度光引发剂和四种光阻胶用新型高纯弱碱显影树脂;成功开发了黑色光阻胶,完成了产业化示范,并在下游用户得到批量化应用。

围绕项目下一步的工作,会议要求要进一步推进项目成员单位之间的协同合作,保障项目协同推进;围绕微电子加工用高端超纯化学品设计、纯化和应用,进一步凝练创新成果;要做到基础研究与共性关键技术并重,完善自有技术体系,按计划建设示范生产线。